
萬物互聯時代,MEMS(微機電系統)芯片是智能設備感知外界的核心“神經末梢”,亦是高端半導體與智能制造產業的重要根基。安徽華鑫微納8英寸MEMS晶圓全自動生產線的正式投產,重點量產慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS器件等,服務于汽車電子、高端裝備、光通信與醫療電子等關鍵領域,為國產MEMS與傳感器產業規模化、高端化、自主化發展注入核心動能。
項目概況
據報道,該項目總投資50.6億元,坐落于蚌埠市經開區中國傳感谷D區,占地154畝,建成8.7萬平方米的智能化廠房,是國內首個實現8英寸MEMS晶圓量產的生產線,加速推進“中國芯”國產化進程,實現我國高端MEMS器件自主可控。
視頻來源:中電二公司
英飛定制化解決方案:
半導體晶圓制造對生產環境的潔凈度、穩定性、安全性、降噪性有著極致嚴苛的行業標準,通風系統作為廠房環境調控的核心配套,直接決定生產線良率與生產安全。針對MEMS芯片制造的特殊工況需求,英飛量身匹配防爆型管道離心風機、邊墻軸流排風機、箱式離心風機等定制化設備,精準適配半導體廠房核心生產單元、輔助功能區域的通風換氣、潔凈凈化、防爆排風、靜音運行等核心剛需,以工業通風硬核技術,護航半導體高端智造。
管道離心風機ISQ/YFISQ:“翔欣?”五代后傾離心葉輪,效率高,不過載;精密雙曲線進口文丘里管減少紊流,降低噪音;方形無蝸殼結構,體積小,重量輕,安裝便捷;葉輪平衡等級高達G4.0(AMCA204)。
中低壓離心風機YFBCSR:先進的R型葉輪設計,效率高、不過載;葉輪平衡等級高達G4.0(AMCA204);一體化設計,結構更可靠。
箱式離心風機YFISH:“獵鷹?”系列離心葉輪,效率高,不過載;低頻噪聲特性,體驗更佳;方形設計多出風方向,節省安裝費;平衡等級高達G2.5(AMCA204);直聯驅動,無易損件,免維護。
邊墻軸流排風機YFWEX/YFWSP:前掠型葉片,漸進切削空氣,風量大,噪聲低;直聯驅動,無易損件,免維護;平衡等級高達G2.5(AMCA204);方形外殼,極易邊墻安裝。
自項目投產以來,英飛提供的通風設備持續穩定服役,運行參數精準可控、性能表現穩定優異,以高標準的落地成果,交出了高端半導體配套通風系統的優質答卷。
結語
從華鑫微納8英寸MEMS晶圓全自動生產線到各類高端工業場景的全域通風保障項目,英飛始終堅守精工標準,持續加大技術研發創新,以更優質的定制化方案、更可靠的產品品質與更完善的服務體系,賦能半導體產業智能化、綠色化、自主化升級,攜手行業伙伴共筑國產替代新格局,共創綠色智造新未來。




