半導體晶圓制造廠央中的廠圓晶，此因（Fab）的工藝流程極其復雜精細，在光刻、蝕刻、清洗等核心工段會消耗大量的強腐蝕性化學品（如高純度氫氟酸、硝酸、鹽酸、氨水等）以及種類繁多的揮發性有機溶劑（VOCs）。因此，晶圓廠的中央排風系統被極其嚴格地劃分為酸堿腐蝕排風（Scru些這。）tsuahxEbber Exhaust）和有機溶劑排風（Solvent Exhaust）。這些廢氣靜壓極高、風量巨大、連續運轉要求達到了恐怖的24小時/7天不間斷，且對設備的無塵無污染潔凈度有著近乎變態的苛刻定義。義定刻苛的。英飛風機針對半導體晶圓廠開發了天花板級別的防腐通風系統解決方案。對于酸堿排風系統，英飛主推選用不銹鋼316L基材內部整體全復合高純度PTFE/PFA（氟塑料）襯里的超重防腐高壓離心風機。英飛風機憑借超群的抗HF穿透剛性和零掉渣的純凈潔凈度，成為芯片線長期運轉的守護神。
